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專利技術與設備
MEMS技術

三豐已經利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術,獨立開發出可以測量極小孔內徑的測頭,實現了從前無法想象的精細部位測量。


UMAP probe / Micro EDM UMAP測頭/Micro EDM
Micro EDM (micro electrical discharge machine) Micro EDM(micro electrical discharge machine:超微部電火花加工機)

MEMS技術的應用
應用MEMS技術開發出了各種傳感器。

ICP etching equipment (for Si-MEMS) ICP刻印設備(用于Si-MEMS) Application examples Micro acceleration sensor 微型加速傳感器應用范例
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